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流量
L/min
真空度
(mbara)
真空度
(Kpa)
压力(KG)
B081
 
3.9 505 50.5 0.59
B101
 
4.4 589 58.9 0.89
B121
 
5.7 684 68.4 1.25
B141
 
6.8 725 72.5 1.61
B161
 
7.6 778 77.8 2.01
B162
 
12.6 752 75.2 2.36
M081
 
12.5 237 23.7 0.41
M101
 
13.5 575 57.5 1.17
M121
 
18 600 60 1.43
M151
 
20 676 67.6 1.86
M161
 
22 745 74.5 2.07
M162
 
36.2 913 91.3 2.27
R061
 
9.7 291 29.1 0.39
R081
 
12.7 393 39.3 0.58
R101
 
13.3 461 46.1 0.72
R121
 
15.8 545 54.5 1.04
R151
 
18.6 637 63.7 1.51
R181
 
21.2 725 72.5 2.27
R201
 
23.4 759 75.9 2.9
R221
 
26 812 81.2 3.66
R251
 
27.4 830 83 4.14
R271
 
30 860 86 4.83
R221(高速)
 
38.2 805 80.5 4.1
R222
 
49.1 965 96.5 5
R222(高速)
 
72.7 968 96.8 4.62
R224
 
100 998 99.8 5


 
 
 
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